Catalogue des ouvrages Université de Laghouat
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[article] in Récents progrés en génie des procédés > VOL 9 N° 39 [21/09/1995] . - p. 37 | Titre : | Analyse technico-economique et optimistion du depot de silicium par pyrol yse de silane | | Type de document : | texte imprimé | | Auteurs : | T. Tamani, Auteur ; P. Duverneuil, Auteur | | Année de publication : | 1995 | | Article en page(s) : | p. 37 | | Langues : | Français | | Résumé : | Ce travail présente une étude technico-économique du procédé industriel de dépôt chimique de silicium polycristallin par pyrolyse d'une phase gazeuse constituée de silane. Un code de calcul estimant le coût d'une opération de CVD a été élaboré, il tient compte de toutes les dépenses inhérentes à l'exploitation annuelle dans un contexte industriel. La consommation des gaz et l'amortissement du matériel constituent les deux postes majeurs du coût total. L'optimisation du critère montre que le coût total de fonctionnement pour une production libre peut-être réduit de près de 18% en utilisant un profilage en température du four. |
[article] Analyse technico-economique et optimistion du depot de silicium par pyrol yse de silane [texte imprimé] / T. Tamani, Auteur ; P. Duverneuil, Auteur . - 1995 . - p. 37. Langues : Français in Récents progrés en génie des procédés > VOL 9 N° 39 [21/09/1995] . - p. 37 | Résumé : | Ce travail présente une étude technico-économique du procédé industriel de dépôt chimique de silicium polycristallin par pyrolyse d'une phase gazeuse constituée de silane. Un code de calcul estimant le coût d'une opération de CVD a été élaboré, il tient compte de toutes les dépenses inhérentes à l'exploitation annuelle dans un contexte industriel. La consommation des gaz et l'amortissement du matériel constituent les deux postes majeurs du coût total. L'optimisation du critère montre que le coût total de fonctionnement pour une production libre peut-être réduit de près de 18% en utilisant un profilage en température du four. |
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