[article] 
in Revue des sciences et de la technologie > N° 23 [01/10/2011] . - p. 40

Titre :	Étude et réalisation de capteurs de gaz à base de silicium poreux
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Nassera Ghellai, Auteur ; Anisse Chiali, Auteur ; Nasser Eddine Chabane-Sari, Auteur
Année de publication :	2011
Article en page(s) :	p. 40
Langues :	Français
Mots-clés :	Silicium Рогеuх  Détecteur  Gaz  Caractéristiques Electriques
Résumé :	L'intérêt croissant pour la prévention de la pollution de L'environnement est devenu ces dernières années un facteur clé dans le développement de toute industrie, en particulier celle des matériaux largement utilisés en microélectronique. Dans ce cadre, le silicium poreux a suscité une grande attention comme matériau appliqué à la détection en raison de la haute sensibilité de sa surface interne à la présence de gaz et d'humidité. Dans notre travail, on se propose de contrôler les variations des propriétés électriques des capteurs à base de silicium poreux, causés par des substances chimiques gazeuses. Plusieurs caractéristiques électriques de notre structure ont été étudiées afin de vérifier la réglementation connue des six "S": Sensibilite (sensibilité); sélectivite (sélectivité). réponse rapide (vitesse de réponse), stabilite (stabilité), la taille/la forme (taille/forme) et le coût ($/coût.). Les les résultats montrent que les caractéristiques courant-tension et capacité-tension sont modifiées par la réactivite du gaz sur la surface de notre capteur et ceci pour différents gaz et différentes concentrations. En outre, les résultats montrent que la conduction change selon la nature du gaz.

[article] Étude et réalisation de capteurs de gaz à base de silicium poreux [texte imprimé] / Nassera Ghellai, Auteur ; Anisse Chiali, Auteur ; Nasser Eddine Chabane-Sari, Auteur . - 2011 . - p. 40.
Langues : Français
in Revue des sciences et de la technologie > N° 23 [01/10/2011] . - p. 40

Mots-clés :

Silicium Рогеuх  Détecteur  Gaz  Caractéristiques Electriques

Résumé :

L'intérêt croissant pour la prévention de la pollution de L'environnement est devenu ces dernières années un facteur clé dans le développement de toute industrie, en particulier celle des matériaux largement utilisés en microélectronique. Dans ce cadre, le silicium poreux a suscité une grande attention comme matériau appliqué à la détection en raison de la haute sensibilité de sa surface interne à la présence de gaz et d'humidité. Dans notre travail, on se propose de contrôler les variations des propriétés électriques des capteurs à base de silicium poreux, causés par des substances chimiques gazeuses. Plusieurs caractéristiques électriques de notre structure ont été étudiées afin de vérifier la réglementation connue des six "S": Sensibilite (sensibilité); sélectivite (sélectivité). réponse rapide (vitesse de réponse), stabilite (stabilité), la taille/la forme (taille/forme) et le coût ($/coût.). Les les résultats montrent que les caractéristiques courant-tension et capacité-tension sont modifiées par la réactivite du gaz sur la surface de notre capteur et ceci pour différents gaz et différentes concentrations. En outre, les résultats montrent que la conduction change selon la nature du gaz.